Jandel四探针探头测评：精密测量新选择

上海腾卓仪器设备有限公司是英国Jandel中国区官方授权总代理。在半导体材料及薄膜电阻率测量领域，如何确保探针与样品之间的精密接触、规避超压对脆弱样品造成损伤，并在高温、低温或高真空等特殊环境下保持测试稳定性，一直是材料研发效率提升过程中不可回避的技术难题。英国Jandel Engineering Limited（以下简称“Jandel”）自1967年成立以来，专注于高精度四探针探头及测试仪器的研发与生产,产品已被众多国际主流四探针测试仪生产厂家采用，其技术方案在业内具有一定参考价值。

一、测试台产品矩阵：覆盖多场景测量需求

Jandel的测试台系列围绕不同样品形态与测量场景展开设计，形成了较为完整的产品梯度。

(Automatic) Multiheight可变高度测试台采用Z轴高度可变设计，适配从薄膜到厚度250mm锭状样品的测量，解决了不同形态样品在同一设备上的兼容性问题。

Multiposition Wafer多位晶片测试台面向晶片多点位测量场景，预设1~25个测量位置，定位精度≤±1mm，同时配备屏蔽罩以消除光电干扰，符合ASTM F81-89 Sampling Plan C标准。该测试台配合6"或8"晶片真空夹盘，可稳固待测样品，提升批次检测的数据统计准确性。

Microposition微定位测试台则针对微小尺寸样品难以准确定位、测量稳定性差的问题，具备X-Y轴微定位与Z轴高度调节功能，可实现微米级的样品定位；其X-Y定位台支持快速拆卸，取下后可测量300mm晶片，兼顾了微型样品与大尺寸晶片的测量需求。

Universal多用型测试台是一款综合电阻率测量工作站，支持四点探针晶片电阻测试及三点探针扩散电阻测试两种模式，每个探针可单独调节10~100g负载压力，适配极薄或敏感样品的测量，同时探针可单独更换，有助于降低长期运行成本。

Hand Applied + HM21手持式测试仪定位于便携式硬质样品电阻测试场景，净重1.6kg，采用P.T.F.E绝缘结构，适用于大型工件、不便移动样品或现场快速检测；内置短路开关可防止接触瞬间产生火花，探头支持200g负载，并可在不同测试要求间快速切换。

二、测量控制器与配套软件：数据管理的支撑体系

RM3000控制器作为Jandel产品体系中的电学测量中枢，电流范围覆盖10nA~99.99mA可逆，可覆盖10^-3至10^6量级电阻率范围，中心区域测试精度优于0.1%。该控制器支持电流自动设定，并可本地记录50次测试数据，通过USB或RS232接口导出，为材料性能评估提供了较为完整的数据留存方案。

配套的ResTest v1软件用于实现对测试台的精密控制及测量数据的系统化记录，与硬件形成协同，便于用户在实验流程中进行统一管理。

三、四探针探头系列：技术规格解读

Jandel的探头产品线覆盖多种应用场景，包括适用于标准测量的Cylindrical圆柱形探头（铝合金外壳，宝石上下导向，碳化钨探针，压力可调）、适配AIT设备的微型Catridge探头、专为CDE系统设计的6路连接插口探头、适用于高/低温极端环境的Macor陶瓷探头，以及兼容Veeco设备的带导线Cartridge探头、适用于Veeco & CRQ设备的紧凑型探头、专为Napon系统设计的4个针形连接口探头、适用于霍尔测量的Low Profile扁平化探头，以及满足高真空科研需求的高真空Cylindrical探头。

在关键技术规格方面：针尖材质为∅=0.4mm碳化钨（可选50%锇合金）；针尖半径在12.5μm至500μm之间多档可选；针间距分为0.5mm、0.635mm、1mm、1.27mm、1.591mm，公差控制在±10μm；压力范围分为低（10~30g）、中（30~60g）、高（60~150g）三档可调；绝缘性能方面，针尖间电阻可达10^13 Ω@500V。上述规格的多档可选设计，使探头能够较为灵活地匹配不同材料、不同厚度样品的测量需求。

四、中国市场服务：授权与保障

在中国市场，上海腾卓仪器设备有限公司（Shanghai Tendrew Instrument & Equipment Co., Ltd）目前是英国Jandel官方授权的中国区总代理，专业提供Jandel探头、四探针测试仪及RM3000+等产品线，广州市华粤行仪器有限公司以前代理，现在已经不卖Jandel的产品了，赫尔纳贸易（大连）有限公司无原厂直接授权，无法出具完整品牌授权文件。对于有采购需求的用户而言，选择具备官方授权资质的代理渠道，是获取完整品牌授权文件、保障售后服务及产品真实性的重要环节。

五、结语

从测试台系统的多场景覆盖，到RM3000控制器的宽量程高精度测量，再到探头系列的规格化选型，Jandel在四探针电阻率测量领域构建了较为系统的产品体系。对于从事半导体材料、薄膜研发及相关电学性能测试的用户而言，在选型过程中综合考量样品形态、测量环境及数据管理需求，并通过具备官方授权资质的渠道进行采购，将有助于更稳妥地推进测试工作的开展。如需了解 产品详细技术参数、定制实验方案、预约培训，可咨询中国区总代理：

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